"The vacuum port of the CDG was equipped with a valve and closed to atmosphere. The head was installed in a vertical orientation (horizontal orientation of the membrane).",
"The device was read out via its analog signal output by means of a calibrated voltmeter (Keithley 2700) provided by PTB.",
"content":"Die Ergebnisse beziehen sich nur auf den in diesem DCC beschriebenen Gegenstand."
},
{
"lang":"en",
"content":"The results refer only to the object calibrated in this DCC."
}
]
},
{
"norm":"DIN EN ISO/IEC 17025:2018-03",
"reference":"7.8.4.3",
"declaration":[
{
"lang":"de",
"content":"Die Ergebnisse gelten zum Zeitpunkt der Kalibrierung. Es obliegt dem Antragsteller, zu gegebener Zeit eine Rekalibrierung zu veranlassen."
},
{
"lang":"en",
"content":"The results refer only to the object calibrated in this DCC. The measurement results are valid at the time of calibration. The applicant is responsible for arranging a recalibration in due time."
}
]
},
{
"convention":"CIPM-MRA",
"valid":true
},
{
"convention":"Tracebility",
"traceable":true,
"declaration":[
{
"lang":"de",
"content":"Die Messung ist rückführbar."
},
{
"lang":"en",
"content":"The measurement is traceable."
}
]
}
]
}
},
},
"measurementResults":{
"name":[
{
"lang":"de",
"content":[
"Ergebnis der Kalibrierung"
]
},
{
"lang":"en",
"content":[
"Result of the calibration"
]
}
],
"usedMethods":{
"usedMethod":[
{
"id":"method_1",
"name":[
{
"lang":"en",
"content":[
"Calibration procedure"
]
}
],
"description":[
{
"lang":"en",
"content":[
"\\label{sec:procedure} The calibration was carried out at the laboratory for vacuum metrology at the Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB). In the pressure range from \\SI{1.3e+00}{\\pascal} to \\SI{1.3e+02}{\\pascal}, the calibration pressure was established in the primary standard SE3 metrologically linked to the primary standard SE2 of PTB applying the static expansion method. In the range \\SI{2.0e+02}{\\pascal} to \\SI{1.3e+03}{\\pascal} the calibration was carried out by direct comparison to a secondary standard consisting of 15 diaphragm gauges. The gas temperature during calibration using the static expansion method with nitrogen was \\SI{295.957+-0.061}{\\kelvin} at a room temperature of \\SI{295.9+-0.1}{\\kelvin}. During the calibration by direct comparison with nitrogen the temperature of the gas was \\SI{295.874+-0.076}{\\kelvin}. Here, the room temperature was \\SI{295.9+-0.1}{\\kelvin}.",
"The device was operated with the following setup: \\begin{itemize}[leftmargin=1cm]\n\n\\item[\\textbf{\\texttt{Heater}:}] \\texttt{on}\n\n\\end{itemize}",
"Before each calibration point the offset \\(p_\\text{ind,r}\\) was recorded (5 readings) at the base pressure and subtracted from the subsequent indication \\(p_\\text{ind}\\) to give the corrected indicated value \\(p_\\text{corr}\\). The contribution of the offset scatter to the total uncertainty was $(k=1)$: \\begin{itemize} \\item[nitrogen, static expansion method:]\\, \\begin{itemize} \\item[\\SI{7.3E-03}{\\pascal}] entire measurement range \\end{itemize} \\end{itemize} \\begin{itemize} \\item[nitrogen, direct comparison method:]\\, \\begin{itemize} \\item[\\SI{8.5E-03}{\\pascal}] entire measurement range \\end{itemize} \\end{itemize}"
]
}
]
},
{
"id":"method_2",
"name":[
{
"lang":"en",
"content":[
"Relative error of pressure indication and correction factor"
]
}
],
"description":[
{
"lang":"en",
"content":[
"The relative error \\(e\\) of the corrected indicated pressure \\(p_\\text{corr}\\) (with \\(p_\\text{corr} = p_\\text{ind} - p_\\text{ind,r}\\)) at the time of calibration is defined as:\\[e = \\frac{p_\\text{ind} - p_\\text{ind,r}}{p_\\text{cal}} - 1\\] where \\(p_\\text{cal}\\) denotes the calibration pressure as generated in the primary standard. During use, the real pressure \\(p\\) can be calculated from the indicated and offset pressure by:\\[p = \\frac{p_\\text{ind} - p_\\text{ind,r}}{e + 1}\\]",
"The correction factor \\(CF\\) is defined by: \\[CF =\\frac{p_\\text{cal}}{p_\\text{ind} - p_\\text{ind,r}}\\] and can be used to calculate the real pressure \\(p\\) by: \\[p = CF (p_\\text{ind} - p_\\text{ind,r})\\]"
]
}
]
},
{
"id":"method_3",
"name":[
{
"lang":"en",
"content":[
"Result of the calibration"
]
}
],
"description":[
{
"lang":"en",
"content":[
"The results of the measurements are given in the following table. \\(U(e)\\) is the uncertainty of the relative error and \\(U(CF)\\) the uncertainty of the correction factor. Included is the repeatability of the measurement under otherwise identical conditions (\\(p_\\text{cal}\\), \\(T\\)). Below 100 Pa, the temperature correction described in section 5 was applied to obtain $e(T_1)$ and $CF(T_1)$ for a constant gas temperature of $T_1=$ \\SI{296.15}{\\kelvin}. \\printResultTable"
]
}
]
},
{
"id":"method_4",
"name":[
{
"lang":"en",
"content":[
"Temperature correction"
]
}
],
"description":[
{
"lang":"en",
"content":[
"In the molecular flow regime the relative deviation $e$ depends on the temperature difference between the thermostated head and the gas in the calibration chamber. Thus, $e$ must be replaced by $e({T_1}')$, where ${T_1}'$ is the temperature of the gas at use. In the transition regime between molecular flow (ideal gas-independent pressure difference due to thermal transpiration) and viscous flow (no pressure difference), which is roughly between $\\SI{0.1}{\\pascal}$ and $\\SI{100}{\\pascal}$, the deviation is temperature and gas-species dependent. If during use of the gauge the gas temperature is significantly different ($\\SI{1}{\\kelvin}$ or more) from \\SI{296.15}{\\kelvin}, \tthe temperature dependence of $e$ must be corrected when calculating $p$ in the transition and molecular flow regime: \\[e({T_1}') = e_\\text{vis} + (e(T_1) - e_\\text{vis}) \\frac{ \\sqrt{T_2/{T_1}'}-1 }{ \\sqrt{T_2/T_1}-1} \\] If the correction factor $CF$ is used: \\[CF({T_1}') = CF_\\text{vis} + (CF(T_1) - CF_\\text{vis}) \\frac{ \\sqrt{T_2/{T_1}'}-1 }{ \\sqrt{T_2/T_1}-1} \\] where $T_1$ (in \\si{\\kelvin}) is the gas temperature used for calibration, $T_2$ (in \\si{\\kelvin}) the temperature of the thermostated head ($\\SI{318.15}{\\kelvin}$), $e_\\text{vis}$ and $CF_\\text{vis}$ the average indication error and the average correction factor in the viscous flow regime ($>\\SI{100}{\\pascal}$), respectively. For the measurement with nitrogen the following values are estimated: $e_\\text{vis}= \\SI{0.0207}{} $ and $CF_\\text{vis} = \\SI{0.9797}{}$."
]
}
]
},
{
"id":"method_5",
"name":[
{
"lang":"en",
"content":[
"Uncertainty"
]
}
],
"description":[
{
"lang":"en",
"content":[
"The uncertainty stated is the expanded measurement uncertainty obtained by multiplying the standard measurement uncertainty by the coverage factor \\(k=2\\). It has been determined in accordance with the “Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement (GUM)”. The value of the measurand then normally lies, with a probability of approximately \\SI{95}{\\percent}, within the attributed coverage interval."
]
}
]
}
]
},
"influenceConditions":{
"name":[
{
"lang":"de",
"content":[
"Die Kalibrierung wurde bei folgenden Umgebungsbedingungen ausgeführt"
]
},
{
"lang":"en",
"content":[
"The calibration was carried out under the following ambient conditions"
]
}
],
"influenceCondition":[
{
"name":[
{
"lang":"de",
"content":[
"Umgebungsbedingungen für das Messgas Stickstoff, Kalibrierung nach dem statischen Verfahren"
]
},
{
"lang":"en",
"content":[
"Ambient conditions for the test gas nitrogen, static expansion method"
]
}
],
"data":[
{
"quantity":{
"name":[
{
"lang":"de",
"content":[
"Temperatur des Messgases"
],
"lang":"de"
},
]
},
{
"lang":"en",
"content":[
"gas temperature"
],
"lang":"en"
]
}
],
],
"real":{
"value":295.957,
"unit":"\\kelvin",
"expandedUnc":{
"coverageFactor":2,
"coverageProbability":0.95,
"uncertainty":0.18
},
"unit":"\\kelvin",
"value":295.99
"uncertainty":0.061,
"coverageFactor":2,
"coverageProbability":0.95
}
}
}
},
},
{
"quantity":{
"name":[
{
"lang":"de",
"content":[
"Raumtemperatur"
],
"lang":"de"
},
]
},
{
"lang":"en",
"content":[
"room temperature"
],
"lang":"en"
]
}
],
],
"real":{
"value":295.9,
"unit":"\\kelvin",
"expandedUnc":{
"coverageFactor":2,
"coverageProbability":0.95,
"uncertainty":0.2
},
"unit":"\\kelvin",
"value":296.3
"uncertainty":0.1,
"coverageFactor":2,
"coverageProbability":0.95
}
}
}
},
},
{
"quantity":{
"name":[
{
"lang":"de",
"content":[
"Temperatur des Messkopfes"
],
"lang":"de"
},
]
},
{
"lang":"en",
"content":[
"temperature of the measurement sensor"
],
"lang":"en"
]
}
],
],
"real":{
"value":318.15,
"unit":"\\kelvin",
"expandedUnc":{
"coverageFactor":2,
"coverageProbability":0.95,
"uncertainty":0.5
},
"unit":"\\kelvin",
"value":318.15
"uncertainty":0.5,
"coverageFactor":2,
"coverageProbability":0.95
}
}
}
}
],
]
},
{
"name":[
{
"lang":"de",
"content":[
"Umgebungsbedingungen f\u00fcr das Messgas Stickstoff, Kalibrierung nach dem statischen Verfahren"
],
"lang":"de"
},
"Umgebungsbedingungen für das Messgas Stickstoff, Kalibrierung durch direkten Vergleich"
]
},
{
"lang":"en",
"content":[
"Ambient conditions for the test gas nitrogen, static expansion method"
],
"lang":"en"
"Ambient conditions for the test gas nitrogen, direct comparison method"
]
}
]
},
{
],
"data":[
{
"quantity":{
"name":[
{
"lang":"de",
"content":[
"Temperatur des Messgases"
],
"lang":"de"
},
]
},
{
"lang":"en",
"content":[
"gas temperature"
],
"lang":"en"
]
}
],
],
"real":{
"value":295.874,
"unit":"\\kelvin",
"expandedUnc":{
"coverageFactor":2,
"coverageProbability":0.95,
"uncertainty":0.17
},
"unit":"\\kelvin",
"value":296.18
"uncertainty":0.076,
"coverageFactor":2,
"coverageProbability":0.95
}
}
}
},
},
{
"quantity":{
"name":[
{
"lang":"de",
"content":[
"Raumtemperatur"
],
"lang":"de"
},
]
},
{
"lang":"en",
"content":[
"room temperature"
],
"lang":"en"
]
}
],
],
"real":{
"value":295.9,
"unit":"\\kelvin",
"expandedUnc":{
"coverageFactor":2,
"coverageProbability":0.95,
"uncertainty":0.2
},
"unit":"\\kelvin",
"value":296.2
"uncertainty":0.1,
"coverageFactor":2,
"coverageProbability":0.95
}
}
}
}
],
"name":[
{
"content":[
"Umgebungsbedingungen f\u00fcr das Messgas Stickstoff, Kalibrierung durch direkten Vergleich"
],
"lang":"de"
},
{
"content":[
"Ambient conditions for the test gas nitrogen, direct comparison method"
],
"lang":"en"
}
]
}
],
"name":[
{
"content":[
"Die Kalibrierung wurde bei folgenden Umgebungsbedingungen ausgef\u00fchrt"
],
"lang":"de"
},
{
"content":[
"The calibration was carried out under the following ambient conditions"
],
"lang":"en"
}
]
},
},
"results":{
"result":[
{
"name":[
{
"lang":"en",
"content":[
"Result for the test gas nitrogen, static expansion method"
]
},
{
"lang":"de",
"content":[
"Ergebnis für das Prüfgas Stickstoff, Kalibrierung nach dem statischen Verfahren"
"Result for the test gas nitrogen, direct comparison method"
],
"lang":"en"
}
]
}
]
},
"usedMethods":{
"usedMethod":[
{
"description":[
{
"content":[
"Das Messger\u00e4t wurde unter Atmosph\u00e4rendruck versandt.",
"",
"Es wurde \u00fcber den Analogausgang mit Hilfe eines kalibrierten \n Digitalmultimeters ausgelesen.",
"Die von der PTB zuletzt durchgef\u00fchrte Kalibrierung ist im \n Kalibrierschein 75040\\,PTB\\,19 beschrieben."
],
"lang":"de"
}
],
"id":"method_0",
"name":[
{
"content":[
"\\section{Beschreibung zum Kalibriergegenstand}"
],
"lang":"de"
}
]
},
{
"description":[
{
"content":[
"\\label{sec:procedure} Die Kalibrierung des Ger\u00e4ts wurde am \n Fachlaboratorium f\u00fcr Vakuummetrologie der Physikalisch-Technischen \n Bundesanstalt (PTB) durchgef\u00fchrt. Im Bereich von \n\\SI{1.0e+00}{\\pascal} bis \\SI{1.0e+02}{\\pascal} wurde das Verfahren \n der stufenweisen Druckerniedrigung durch Expansion (statisches \n Expansionsverfahren) angewandt. Benutzt wurde das Prim\u00e4rnormal SE3. \n Die Kalibrierung im Bereich von \\SI{2.0e+02}{\\pascal} bis \n\\SI{1.0e+03}{\\pascal} wurde durch direkten Vergleich mit einem \n Sekund\u00e4rnormal bestehend aus 15 Membranvakuummetern gewonnen. Die \n Gastemperatur bei der Kalibrierung nach dem statischen Expansionsverfahren \n mit Stickstoff betrug \\SI{295.99+-0.18}{\\kelvin} \n bei einer Raumtemperatur von \\SI{296.3+-0.2}{\\kelvin}. Beim direkten \n Vergleich betrug die Gastemperatur bei der Kalibrierung mit Stickstoff \n\\SI{296.18+-0.17}{\\kelvin}. Bei dieser Messung betrug die \n Raumtemperatur \\SI{296.2+-0.2}{\\kelvin}.",
"Das Ger\u00e4t wurde mit folgenden Einstellungen kalibriert: \n\\begin{itemize}[leftmargin=1cm]\n\\item[\\textbf{\\texttt{Heater}:}] \n\\texttt{on}\n\\item[\\textbf{\\texttt{Unit}:}] \\texttt{Volt}\n\\end{itemize}",
"Die Nullanzeige \\(p_\\text{r}\\) wurde vor jedem Kalibrierpunkt unter \n Restgasbedingungen (\\(\\SI{<1E-6}{\\pascal}\\)) gemessen und von der \n Anzeige beim Kalibrierdruck abgezogen. Der Beitrag der Streuung der \nNullanzeige zur Gesamtunsicherheit betr\u00e4gt $(k=1)$: \n\\begin{itemize} \\item[Stickstoff, Kalibrierung nach dem statischen Verfahren:]\\, \n\\begin{itemize} \\item[\\SI{7.4E-04}{\\pascal}] im gesamten Messbereich \n\\end{itemize} \n\\end{itemize} \n\\begin{itemize} \n\\item[Stickstoff, Kalibrierung durch direkten Vergleich:]\\, \n\\begin{itemize} \n\\item[\\SI{8.2E-03}{\\pascal}] im gesamten Messbereich \n\\end{itemize} \n\\end{itemize} \n"
],
"lang":"de"
}
],
"id":"method_1",
"name":[
{
"content":[
"\\section{Versuchsbedingungen und Versuchsdurchf\u00fchrung}"
],
"lang":"de"
}
]
},
{
"description":[
{
"content":[
"Die relative Abweichung \\(e\\) der Druckanzeige ist definiert als \n angezeigter Wert \\(p_\\text{ind}\\) (korrigiert um die Restdruckanzeige) \n minus richtiger Wert \\(p_\\text{cal}\\), bezogen auf den richtigen \n Wert:\\[e = \\frac{p_\\text{ind} - p_\\text{r}}{p_\\text{cal}} - 1\\] Bei \n einer Druckmessung ergibt sich der Druck \\(p\\) aus: \n\\[p = \\frac{p_\\text{ind} - p_\\text{r}}{e + 1}\\]",
"Der in der Tabelle angegebene Korrekturfaktor \\(CF\\) wird wie folgt \n berechnet: \\[CF =\\frac{p_\\text{cal}}{p_\\text{ind} - p_\\text{r}}\\] \n\\(CF\\) kann mittels: \\[p = CF (p_\\text{ind} - p_{r})\\] zur Korrektur \n des angezeigten Drucks benutzt werden."
],
"lang":"de"
}
],
"id":"method_2",
"name":[
{
"content":[
"\\section{Relativer Fehler der Anzeige und Korrekturfaktor}"
],
"lang":"de"
}
]
},
{
"description":[
{
"content":[
"Das Ergebnis der Messungen ist im Folgenden tabellarisch dargestellt. \n\\(U(e)\\) ist die Unsicherheit der relativen Abweichung der Druckanzeige \n und \\(U(CF)\\) die Unsicherheit des Korrekturfaktors zum Zeitpunkt der \n Kalibrierung. Diese Unsicherheiten enthalten die Wiederholbarkeit der \n Messung unter sonst gleichen Bedingungen (\\(p_\\text{cal}\\), \n\\(T\\)). Unterhalb von 100 Pa wurde die in Abschnitt 5 beschriebene \n Temperaturkorrektur angewendet. $e$ und $CF$ beziehen sich auf eine \n konstante Gastemperatur von \\SI{296.15}{\\kelvin}. \\printResultTable"
],
"lang":"de"
}
],
"id":"method_3",
"name":[
{
"content":[
"\\section{Ergebnis der Kalibrierung}"
],
"lang":"de"
}
]
},
{
"description":[
{
"content":[
"Im Bereich molekularer Str\u00f6mung h\u00e4ngt die relative Abweichung \n\\(e\\) von der Temperaturdifferenz zwischen dem thermostatisierten \n Messkopf und dem Gas in der Kalibrierkammer ab. Im \u00dcbergangsbereich \n zwischen molekularer Str\u00f6mung (ideale gasartunabh\u00e4ngige \n Druckdifferenz durch thermische Transpiration) und viskoser Str\u00f6mung \n (keine Druckdifferenz), der etwa zwischen \\(\\SI{0.1}{\\pascal}\\) und \n\\(\\SI{100}{\\pascal}\\) liegt, ist die Abweichung temperatur- und \n gasartabh\u00e4ngig. Wenn die Gastemperatur w\u00e4hrend des Gebrauchs des \n Messger\u00e4tes signifikant von der Temperatur \\SI{296.15}{\\kelvin} \n (\\(\\SI{1}{\\kelvin}\\) oder mehr), muss eine zus\u00e4tzliche \n Korrektur im Bereich molekularer Str\u00f6mung und im \n\u00dcbergangsbereich vorgenommen und f\u00fcr die Berechnung von \\(p\\) \n verwendet werden: \n\\[e' = e_\\text{vis} + (e - e_\\text{vis}) \\frac{ \\sqrt{T_2/{T_1\\!}'}-1 }{ \\sqrt{T_2/T_1}-1} \\] \n Wird der Korrekturfaktor \\(CF\\) verwendet, so ist: \n\\[CF' = CF_\\text{vis} + (CF - CF_\\text{vis}) \\frac{ \\sqrt{T_2/{T_1\\!}'}-1 }{ \\sqrt{T_2/T_1}-1} \\] Dabei ist \\(T_1\\) \n (in \\si{\\kelvin}) \n die Gastemperatur w\u00e4hrend der Kalibrierung, \n\\({T_1\\!}'\\) \n (in \\si{\\kelvin}) \n die Temperatur des Gases bei der Verwendung, \n\\(T_2\\) (in \\si{\\kelvin}) die Temperatur des thermostatisierten Messkopfes \n\\SI{318.15}{\\kelvin} sowie \\(e_\\text{vis}\\) und \\(CF_\\text{vis}\\) der mittlere \n Anzeigefehler \n und der mittlere Korrekturfaktor im Bereich viskoser \n Str\u00f6mung (\\(>\\SI{100}{\\pascal}\\)). \\(e\\) und \\(CF\\) sind der \n Fehler und der Korrekturfaktor im Bereich molekularer Str\u00f6mung und \n im \u00dcbergangsbereich (\\(<\\SI{100}{\\pascal}\\)). F\u00fcr die \n Messung mit Stickstoff wurden folgende Werte abgesch\u00e4tzt: \n\\(e_\\text{vis}= \\SI{0.0020}{} \\) und \\(CF_\\text{vis} = \\SI{0.9980}{} \\)."
],
"lang":"de"
}
],
"id":"method_4",
"name":[
{
"content":[
"\\section{Temperaturkorrektur}"
],
"lang":"de"
}
]
},
{
"description":[
{
"content":["Angegeben ist die erweiterte Messunsicherheit, die sich aus der \n Standardmessunsicherheit durch Multiplikation mit dem Erweiterungsfaktor \n\\(k = 2\\) ergibt. Sie wurde gem\u00e4\u00df dem ``Guide to the \n Expression of Uncertainty in Measurement (GUM)'' ermittelt. Der \n Wert der Messgr\u00f6\u00dfe liegt dann im Regelfall mit einer \n Wahrscheinlichkeit von ann\u00e4hernd \\SI{95}{\\percent} im \n zugeordneten \u00dcberdeckungsintervall."],
