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Commit 0f18deff authored by Rolf Niepraschk's avatar Rolf Niepraschk
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\listfiles
\documentclass[ngerman]{vl-arbeitsanweisung}
\Devision{7}
\Department{7.3}
\WorkingGroup{Vakuummetrologie}
\Object{DIR}
\Edition{03}
\date{2007-05}
\title{Kalibrierung von Vakuummetern im Bereich von \\ 30\,Pa bis
10\textsuperscript{5}\,Pa durch direkten Vergleich mit einem Normal}
\usepackage{hyperref}
\begin{document}
\maketitle
\tableofcontents
\clearpage
\section{Zweck und Geltungsbereich}
\section{Begriffe und Abkürzungen}
\section{Räumlichkeiten und Umgebungsbedingungen}
\section{Gerätetechnische Gegebenheiten}
\subsection{Kalibriermethode}
\subsection{Qualitätsanforderungen}
\clearpage
\subsection{Kalibriereinrichtung}
\begin{figure}[!ht]
\includegraphics[width=\textwidth]{Kalibriereinrichtung.pdf}
\caption{Schemazeichnung der Kaliberiereinrichtung für den direkten Vergleich
(ZKG = zu kalibrierendes Gerät). Das Primärnormal SE2 wird als
Expansionssystem nicht genutzt, lediglich dessen Druckmessgeräte (am
Gaseinlass) und die Tischplatte zur Montage des ZKG. Als Gaseinlass können
QBS, DKM und FRS5 dienen.}
\end{figure}
\FloatBarrier % Verhindern, dass Abb./Tab. in nächsten Abschnitt gleitet.
\subsection{Normale und Messmittel}
\section{Kalibrierverfahren}
\subsection{Vorbereiten der Prüflinge}
\clearpage
\subsection{Qualitätsanforderungen}
\clearpage
\subsection{Durchführung und Auswertung der Kalibrierung}
\clearpage
\subsection{Messunsicherheit der Kalibrierwerte}
Über die angegebene Unsicherheit des dargestellten Drucks hinaus, sind bei
Kapazitätsvakuummetern folgende gerätespezifischen Unsicherheiten zu
berücksichtigen:
\begin{itemize}
\item Digitalisierung der Anzeige
\item Kurzzeitige (Sekundenbereich) und systematische (Drift im
Minutenbereich) Änderungen des Nullpunkts bzw.\ Offsets.
\item Wiederholpräzision der Anzeige (repeatibility)
\item Temperaturabhängigkeit der Anzeige
\end{itemize}
Da nur in aufsteigender Druckreihenfolge gemessen wird, gibt es keine
Hysterese-Effekte. In Ausnahmefällen muss bei Wiederholungsmessungen einzelner
Druckpunkte von der aufsteigenden Reihenfolge abgewichen werden. Störungen
durch Hysterese-Effekte sind bei den bisher kalibrierten Geräten nicht bekannt
geworden. Für diese Geräte ergeben sich folgende Budgets:
\begin{table}[!ht]
\caption{»Best Measurement Capabilities«, kalibriert mit DKM, FRS5 oder QBS
für Kapazitätsvakuummeter Typ MKS Baratrons mit verschiedenen Vollauschlägen
\SI{100}{\torr} und \SI{1000}{\torr}. Angegeben sind die relativen
Gesamtunsicherheiten mal 2 ($k=2$). Zu Details siehe Anhang.}
\relscale{.75}% Schrift skalieren, damit Tabelle passt
\sisetup{% für Spaltentyp "S"
table-format=1.1e-1
}
\begin{tabular}{@{}rSSSSSS@{}} \toprule
{Druck} &
{\SI{100}{\torr}-CDG /} & {\SI{100}{\torr}-CDG /} & {\SI{100}{\torr}-CDG /} &
{\SI{1000}{\torr}-CDG /} & {\SI{1000}{\torr}-CDG /} & {\SI{1000}{\torr}-CDG /}
\\
{in \si{\kilo\pascal}} & {DKM} & {FRS} & {QBS} & {DKM} &
{FRS} & {QBS} \\ \toprule
0,003 & & 1,5E-03 & & & & \\
0,1 & & 5,9E-04 & & & & \\
1 & & 4,1E-04 & 2,1E-03 & & 6,0E-04 & 2,1E-03 \\
3 & 4,3E-04 & 4,0E-04 & 8,2E-04 & 4,3E-04 & 4,1E-04 & 8,2E-04 \\
10 & 4,2E-04 & 4,0E-04 & 5,1E-04 & 4,2E-04 & 4,0E-04 & 5,1E-04 \\
30 & & & & 4,2E-04 & 4,0E-04 & 4,3E-04 \\
100 & & & & 4,2E-04 & & 4,2E-04 \\
\bottomrule
\end{tabular}
\end{table}
Es sei jedoch darauf hingewiesen, dass vorläufig aufgrund der Vereinbarung mit
der zuständigen AG für Druck im Kalibrierschein keine Unsicherheit
$<\SI{0,05}{\percent}$ ($k=2$) angegeben werden soll. Dieser Punkt wird jedoch im
Zusammenhang mit neuen CMC-Einträgen erneut mit der AG für Druck besprochen
werden.
\subsection{Kalibrierschein}
\clearpage
\section{Validierung}
\section{Ergebnisse von Vergleichen}
\section{Aufzeichnungs- und Ablagesystem (Aktenordnung)}
\begin{thebibliography}{9}
\bibitem{Jitschin1990}
W. Jitschin, J.\,K. Migwi and G.\,Grosse: Pressures in the high and medium
vacuum range by a series expansion standard. Vacuum \textbf{40} (1990),
293--304.
\bibitem{Jousten1990}
Karl Jousten, Thomas Bock, Dominik Pražák, Zdeněk Krajíček: Final report on
the supplementary comparison Euromet.M.P-S2 (bilateral comparison) in the
pressure range from 30\,Pa to 7000\,Pa, Metrologia \textbf{44} (2007), 07007.
\end{thebibliography}
\section{Anhang: Messunsicherheitsbudgets für verschiedene Geräte und
Beispielkalibrierschein}
\begin{landscape} \small
\newcolumntype{P}[1]{>{\RaggedRight}p{#1}}%
\newcolumntype{Y}{>{\RaggedRight}X}%
\sisetup{% für Spaltentyp "S"
table-format=1.2e-1,
% max. Breite für die S-Spalten
table-column-width=\dimexpr (\linewidth-20\tabcolsep)/11,
%tight-spacing=true,
%scientific-notation=engineering
}
\noindent
\begin{tabular}{@{}SSSSSSSSSSS@{}}
\multicolumn{11}{@{}l@{}}{%
{\usekomafont{disposition}CDG 10-Torr MKS Baratron 5\,1/2 Stellen
mit FRS}} \\[1em] \toprule
% Kopf-Einträge jeweils in geschweiften Klammern wegen Zahlenformatierung ("S").
{$p$/Pa} & {$p$/mbar} & {PTB/FRS} & {PTB/FRS} & {Digitalis.} &
{Repeat.} & {Repeat.} & {Nullpunkt} & {Gesamt} & {Gesamt} & {$k=2$}
\\
& & {rel.} & {mbar} & {mbar} &
{rel.} & {mbar} & {mbar} & {mbar} & {rel.} &
\\ \toprule
3,00E+01 & 3,0E-01 & 7,17E-04 & 2,15E-02 & 2,90E-05 &
2,00E-04 & 6,00E-03 & 2,90E-05 & 2,2E-02 & 7,4E-04 & 1,49E-03 \\
1,00E+02 & 1,0E+00 & 2,17E-04 & 2,17E-02 & 2,90E-05 &
2,00E-04 & 2,00E-02 & 2,90E-05 & 2,9E-02 & 2,9E-04 & 5,90E-04 \\
1,00E+03 & 1,0E+01 & 3,21E-05 & 3,21E-02 & 2,90E-04 &
2,00E-04 & 2,00E-01 & 2,90E-04 & 2,0E-01 & 2,0E-04 & 4,05E-04
\\ \bottomrule
\end{tabular}
\minisec{\usekomafont{disposition}Erläuterungen:} \par\medskip
\noindent
\begin{tabularx}{\linewidth}{@{}P{.275\linewidth}Y@{}}
$p$/Pa & Eingestellter Druck in Pa \\
$p$/mbar & Eingestellter Druck in mbar \\[-2ex]
\multicolumn{2}{@{}p{\linewidth}@{}}
{\minisec{Unsicherheit durch Primärnormal FRS5}} \\[-2ex]
PTB/FRS rel. & Relative Unsicherheit des eingestellten Drucks \\
PTB/FRS mbar & Unsicherheit des eingestellten Drucks in mbar \\[-2ex]
\multicolumn{2}{@{}p{\linewidth}@{}}
{\minisec{Unsicherheit durch Gerät}} \\[-2ex]
Digitalis. & Unsicherheit durch Digitalisierung: \SI{0.29}{} mal letzte
Digit-Stelle \\
Repeat. rel. & Relative Wiederholpräzision ermittelt durch die mittlere
Standardabweichung der Kalibrierwerte von einer Ausgleichskurve \\
Repeat. mbar & dito. in mbar \\
Nullpunkt mbar & Unsicherheit durch Nullpunktschwankungen, Nullpunktdrift,
einschl. durch Temp.-Änderungen \\
Gesamt mbar & Gesamtunsicherheit in mbar (Wurzel aus obigen Varianzen) \\
Gesamt rel. & relative Gesamtunsicherheit \\
$k=2$ & relative Gesamtunsicherheit mal 2 ($k=2$) \\[-2ex]
\multicolumn{2}{@{}p{\linewidth}@{}}
{\minisec{Zusätzliche Unsicherheiten, die keine Rolle bei
"`Best Meas. Capabilties"' spielen, aber bei der weiteren Verwendung
als Messgerät}} \\[-2ex]
Unsicherheit der thermischen Transpiration bei $u(T)=\SI{0.3}{K}$
& druckabhängig, z.\,B.\ \SI{0.05}{\percent} bei \SI{0.1}{Pa} \\
Temperatureinfluss (\SI{0.3}{K}) auf Messkopf (Nullpunktdrift)
& \SI{4.00E-06}{mbar} \\
Temperatureinfluss (\SI{1}{K}) auf Messverstärker
& \SI{2.00E-05}{} relativ \\
Langzeitstabilität & \SI{1.00E-03}{} relativ \\
\end{tabularx}
\end{landscape}
\clearpage
% Alle Seiten des Kalibrierscheines
\includepdf[pages=-,frame,scale=.75,%
pagecommand={\thispagestyle{headings}}]{ks-75024_2014.pdf}
\end{document}
%---------------------------
......@@ -2,7 +2,7 @@
\setcounter{errorcontextlines}{100}
\NeedsTeXFormat{LaTeX2e}[1999/12/01]
\ProvidesClass{vl-arbeitsanweisung}
[2014/08/07 v0.1c Dokumentenklasse (RN/PTB)]
[2014/08/08 v0.1d Dokumentenklasse (RN/PTB)]
\DeclareOption*{\PassOptionsToClass{\CurrentOption}{scrartcl}}
\ProcessOptions\relax
\PassOptionsToPackage{paper=a4,pagesize,twoside,headinclude}{typearea}
......@@ -16,12 +16,12 @@
]{scrartcl}
\RequirePackage{babel}
\RequirePackage{amsmath,threeparttable,tabto}
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\let\ptb@tempdima=\@clnwd
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\fi
\RequirePackage[
% factor=1500
% ,verbose=true
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% ,letterspace=100
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......@@ -87,7 +84,7 @@
\begingroup
\normalfont\sffamily\tiny\extrarowheight=.3\baselineskip
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\renewcommand*\tabularxcolumn[1]{m{##1}}%
\begin{tabularx}{\textwidth}[t]{@{}|C|C|C|C|C|@{}} \firsthline
Erstellt: \\
Abteilung~\ptb@Devision, Fachbereich~\ptb@Department
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\plitemsep=\medskipamount
\DeclareSIUnit\torr{Torr}
\DeclareSIUnit\mbar{\milli bar}
\sisetup{% Formatierung von Maßzahlen (z.B. Spaltentyp "S" in Tabellen)
,retain-zero-exponent=true
......@@ -266,7 +267,11 @@ footskip=15mm,
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\addto\extrasenglish{\sisetup{locale=US}}
\raggedbottom
\renewcommand*\tabularxcolumn[1]{m{#1}}% vert. zentriert
\raggedbottom{}
\RequirePackage[final]{hyperref}
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