diff --git a/arbeitsanweisung/test-arbeitsanweisung.pdf b/arbeitsanweisung/7.5-AA-DIR.pdf similarity index 74% rename from arbeitsanweisung/test-arbeitsanweisung.pdf rename to arbeitsanweisung/7.5-AA-DIR.pdf index 62178f400204d09884b7e95ad4a21e90d84bdd67..9be80290b6b7390aaaa6d344c4b211683d72c02c 100644 Binary files a/arbeitsanweisung/test-arbeitsanweisung.pdf and b/arbeitsanweisung/7.5-AA-DIR.pdf differ diff --git a/arbeitsanweisung/7.5-AA-DIR.tex b/arbeitsanweisung/7.5-AA-DIR.tex new file mode 100644 index 0000000000000000000000000000000000000000..9afafaedcbba730534713297d17c187976aadf69 --- /dev/null +++ b/arbeitsanweisung/7.5-AA-DIR.tex @@ -0,0 +1,887 @@ + +%--------------------------- +\listfiles +\documentclass[ngerman]{vl-arbeitsanweisung} + +\Devision{7} +\Department{7.3} +\WorkingGroup{Vakuummetrologie} +\Object{DIR} +\Edition{03} + +\date{2007-05} + +\title{Kalibrierung von Vakuummetern im Bereich von \\ 30\,Pa bis + 10\textsuperscript{5}\,Pa durch direkten Vergleich mit einem Normal} + +\begin{document} + +\maketitle +\tableofcontents + +\clearpage + +\section{Zweck und Geltungsbereich} + +AG für Vakuummetrologie: Kalibrierung von Vakuummetern zwischen +\SI{1E3}{\Pa} und \SI{1E5}{\Pa} durch direkten Vergleich mit einem +Sekundärnormal und zwischen \SI{30}{\Pa} und \SI{1E4}{\Pa} durch +direkten Vergleich mit der Druckwaage FRS5, welche von \SI{30}{\Pa} bis +\SI{1E3}{\Pa} als Primärnormal angesehen wird. Der Druckbereich $> +\SI{1E3}{\Pa}$ wird in der PTB mit den Primärnormalen der AG~Druck (3.23) +dargestellt. Um Kosten für die PTB und den Kunden zu sparen, werden jedoch +typische Vakuummessgeräte, die sowohl unterhalb als auch oberhalb +\SI{1E3}{\Pa} kalibriert werden müssen, bei der AG für Vakuummetrologie +kalibriert, wenn an die Kalibrierung oberhalb \SI{1E3}{\Pa} keine +Messunsicherheitsanforderungen $ < \SI{0.05}{\percent}$ ($k=2$) gestellt +werden. Ausnahmen für diesen Wert der Messunsicherheit sind nach Absprache mit +der AG für Druck möglich. Zur Definition "`typisches Vakuumessgerät"' +siehe Abschnitt~\ref{BegAbk}. + +\section{Begriffe und Abkürzungen}\label{BegAbk} + +\begin{description} + +\item[Vakuummessgerät im Sinne dieser AA:] Ein Absolutdruckmessgerät für den +Bereich $< \SI{100}{\kPa}$, welches von seinem Aufbau und Anschlüssen +her dazu geeignet ist (i.\,d.\,R.\ Ganzmetalldichtungen), an Hoch- und +Feinvakuumapparaturen angeflanscht zu werden. + +\item[DKM:] Abkürzung für Drehkolbenmanometer. + +\item[FRS5:] Druckwaage der AG (Furness Rosenberg Pressure Standard Typ 5). +Teilweise auch mit FRS abgekürzt. + +\item[QBS:] Quarz"=Bourdon"=Spirale (Manometer für den Druckbereich $> +\SI{1}{\kPa}$ bis etwa $\SI{200}{\kPa}$). + +\item[SE2 (Static Expansion System 2):] Primärnormal, welches das statische +Expansionsverfahren realisiert und im Jahre 1988 im Laboratorium für +Vakuummetrologie in Dienst gestellt wurde. + +\end{description} + +\section{Räumlichkeiten und Umgebungsbedingungen} + +Die Primärnormale SE2 und FRS5 sind in der PTB, Institut Berlin, Försterbau, +EG, Raum~21 aufgestellt. Der Raum hat eine Fläche von +ca.\ \SI{55}{\square\meter}. Die Fensterfront ist nach Norden gerichtet. Der +Raum ist klimatisiert auf eine Solltemperatur von \SI{23}{\celsius}. Notwendig +(und im Raum FOE 021 vorhanden) für den Betrieb sind folgende Anschlüsse: +% +\begin{itemize} + +\item Elektrik: 220V +\item Kühlwasser +\item Pressluft +\item Lokales EDV"=Netz + +\end{itemize} +% +Im Raum herrscht Rauchverbot. Zugang haben Mitarbeiter des Labors und +anderweitig Berechtigte (Reinigungspersonal, Technischer Dienst, Wachdienst), +sowie Personen, denen die Erlaubnis zum Zugang gegeben wurde. + +\section{Gerätetechnische Gegebenheiten} + +\subsection{Kalibriermethode} + +Die Kalibrierung von Vakuummetern in diesem Bereich erfolgt durch direkten +Vergleich mit einer QBS, einem DKM oder der FRS5. Ihre Anzeige wird entweder +mit dem in den verbindenden Rohrleitungen herrschenden Druck, welcher durch die +genannten drei Normale bestimmt wird, verglichen oder diesem zugeordnet +(z.\,B.\ im Falle einer Spannung als Anzeige). Bei Kapazitätsvakuummetern wird +als Kalibriergröße in der Regel der Anzeigefehler e ermittelt. Er ist durch +% +\begin{equation} + e = \frac{p_\text{ind} - p} {p} +\end{equation} +% +definiert wenn $p_{\text{ind}}$ der angezeigte Druck und p der dargestellte +Druck ist. Eine andere Kalibriergröße, die hauptsächlich aus dem britischen +Raum gewünscht wird, ist der Korrekturfaktor CF, der folgendermaßen definiert +wird: +% +\begin{equation} + CF = \frac{p_\text{cal}} {p_\text{ind}} +\end{equation} + +Der Korrekturfaktor gibt an, mit welchem Faktor eine Anzeige (oder ein +Messwert) multipliziert werden muss, um die physikalisch richtige ("`wahre"') +Größe zu erhalten. Die Drücke werden von niederen zu höheren Drücken +fortschreitend eingestellt. Der Effekt der thermischen Transpiration spielt in +diesem Druckbereich keine Rolle oder ist (im Falle des FRS5 unterhalb +\SI{50}{\Pa}) in seiner Auswirkung vernachlässigbar, da die +Leitungsdurchmesser überall $>\SI{5}{\milli\meter}$ sind. + +\subsection{Qualitätsanforderungen} + +Folgende Qualitätsanforderungen werden an die Darstellung des Kalibrierdruckes +gestellt: Der Kalibrierdruck muss so genau dargestellt werden, wie es die +statistisch schwankenden Messgrößen und die unvermeidbaren systematischen +Unsicherheiten der verwendeten Normale (DKM, FRS5 oder QBS) nach dem jeweils +neuesten Stand des Wissens zulassen. Um dieses Ziel zu erreichen, werden alle +bekannten, den Kalibrierdruck signifikant beeinflussenden Korrekturen +vorgenommen und die bestgeeignetsten Komponenten der Mess- und Vakuumtechnik +im Rahmen der finanziellen Möglichkeiten der PTB eingesetzt. Die +Sekundärnormale müssen mit der höchstmöglichen Genauigkeit kalibriert sein und +regelmäßig in solchen Abständen rekalibriert werden, dass die durch +langzeitliche Veränderungen bedingte Unsicherheit nie mehr als die Hälfte der +Gesamtunsicherheit beträgt. + +\clearpage +\subsection{Kalibriereinrichtung} +% +Nach Schließen der Ventile~1, 3, 7 und 8 des Primärnormals SE2 und Öffnen des +Ventils~13 ist eine direkte Verbindung vom ZKG zum Vergleichsmessgerät am +Gaseinlass (DKM, FRS5 oder QBS) hergestellt. +\begin{figure}[!ht] + \includegraphics[width=\textwidth]{Kalibriereinrichtung.pdf} + \caption{Schemazeichnung der Kaliberiereinrichtung für den direkten Vergleich + (ZKG = zu kalibrierendes Gerät). Das Primärnormal SE2 wird als + Expansionssystem nicht genutzt, lediglich dessen Druckmessgeräte (am + Gaseinlass) und die Tischplatte zur Montage des ZKG. Als Gaseinlass können + QBS, DKM und FRS5 dienen.} \label{Schema} +\end{figure} +\FloatBarrier % Verhindern, dass Abb./Tab. in nächsten Abschnitt gleitet. +% +\begin{table} + \caption{Relative Unsicherheit (k=1) des dargestellten Drucks}\label{RelUn} + \setlength\abovedisplayshortskip{-.6\baselineskip}% weniger Abstand davor und + \setlength\belowdisplayshortskip{-.25\baselineskip}% dahinter + \begin{tabularx}{\linewidth}{@{}cc>{\[}X<{\]}@{}} \toprule + Normal & Druckbereich & + \multicolumn{1}{>{\centering}X@{}}% + {\normalsize Wert (relative Standardunsicherheit)} \\ \toprule + + FRS5 & \SI{30}{\Pa}\,...\,\SI{10}{\kPa} & + \frac{\sqrt{ \SI{4.62E-4}{\Pa\squared} + \num{1.08E-8} p + + \num{5.54E-10} p^2 }}{p} \\ + + DKM & \SI{26}{\mbar}\,...\,\SI{300}{\mbar} & + \frac{\sqrt{ \SI{3.75E-6}{\mbar\squared} + \num{7.75E-10} p^2 }}{p} \\ + + DKM & \SI{300}{\mbar}\,...\,\SI{3000}{\mbar} & + \frac{\sqrt{ \SI{4E-4}{\mbar\squared} + \num{6.45E-10} p^2 }}{p} \\ + + QBS & \SI{1}{\kPa}\,...\,\SI{28.4}{\kPa} & + \frac{\sqrt{ \SI{0.14}{\Pa\squared} + \num{1.6E-8} p^2 }}{p} \\ + + QBS & \SI{28.4}{\kPa}\,...\,\SI{110}{\kPa} & + \frac{\sqrt{ \SI{4.1}{\Pa\squared} + \num{1.6E-8} p^2 }}{p} \\ + + \bottomrule + \end{tabularx} +\end{table} +\begin{table} + \caption{Typische Werte der Unsicherheit, die sich aus Tabelle~\ref{RelUn} + ergeben} \label{TypUn} \centering + \sisetup{% für Spaltentyp "S" + table-format=1.1e-1, + table-comparator=true + } + \begin{tabular}{@{}lS@{}} \toprule + {Druck} & {relative Standardunsicherheit mal 2 ($k=2$)} \\ \toprule + FRS, \SI{30}{\Pa} & 1.4E-3 \\ + FRS, \SI{50}{\Pa} & 8.6E-4 \\ + FRS, \SI{100}{\Pa} & 4.5E-4 \\ + FRS, \SI{1}{\kPa} & 6.4E-5 \\ + DKM, ganzer Bereich & < 1.7E-4 \\ + QBS, \SI{1}{\kPa} & 7.9E-4 \\ + QBS, \SI{3}{\kPa} & 3.5E-4 \\ + QBS, \SI{30}{\kPa} & 2.9E-4 \\ + QBS, \SI{100}{\kPa} & 2.6E-4 \\ \bottomrule + \end{tabular} +\end{table} + +Die Unsicherheit des eingestellten Drucks (Tabelle~\ref{RelUn} und \ref{TypUn}) +ist allein durch die Unsicherheit der Messung mit den Normalen bestimmt. Sie +ergeben sich aus den Kalibrierscheinen im Falle des DKM und der QBS, und aus +\mbox{QSE-FRS-06-1} im Falle des FRS5. + +\subsection{Normale und Messmittel} + +Die folgende Liste gibt eine Ãœbersicht über die wichtigsten Geräte und Einzelteile der Kalibriereinrichtung: + +\begin{itemize} + + \item FRS5 mit flow controller (VAC FRS) zur Einstellung eines + kontinuierlichen Gasflusses, Pt-100 zur Messung der Temperatur, SRG + (Kalibrierung z.\,B.\ \mbox{QS 12/06}) zur Kontrolle des Referenzdrucks (nur + für Helium) + + \item Quarz"=Bourdon"=Spirale"=Controller zur Druckeinstellung RUSKA 7010 + + \item Drehkolbenmanometer BELL\,\&\,HOWELL mit zugehörigem Pirani und + Thermometer (Pt-100) und am Drehkolbenmanometer angeschlossenes + Gaseinlasssystem mit variablem Volumen und Pumpsystem. + + \item Primärnormal SE2 (siehe 7.3-AA-SE2) + +\end{itemize} + +\noindent Folgende Messgeräte müssen auf nationale Normale zurückgeführt werden: + +\bigskip\noindent % Besser Fießumgebung? +\begin{threeparttable} +\begin{tabularx}{\linewidth}% + {@{}Xcc>{\Centering\hspace{0pt}}p{7em}>{\Centering\hspace{0pt}}p{7em}@{}} + \toprule + Gerät & Seriennummer & PTB Inv.-Nr. & Messmittel\-listennummer & + Rekalibrierfrist in Jahren \\ \toprule + + FRS & 402211 & 200011650 & 7.3-4018 & Lebensdauer\tnote{$*$} \\[.5em] + + Drehkolbenmanometer\\ BELL\,\&\,HOWELL\\ 6-201-0001 & + 4303 & 94008523 & 7.3-4016 & 5 \\[.5em] + + QBS-Controller\\ RUSKA~7010\\ bis \SI{1600}{mbar} & + 53444 & 99044126 & 7.3-4017 & 1 \\ + + \bottomrule +\end{tabularx} +\begin{tablenotes} \footnotesize + \item[$*$] Alle 5~Jahre findet eine Zwischenkontrolle durch Vergleich mit dem + DKM statt (siehe unten). +\end{tablenotes} +\end{threeparttable} + +\bigskip + +Die Kalibrierung des Drehkolbenmanometers erfolgt durch die in der PTB +zuständige AG für Druckmessung (3.23). Die Kalibrierscheine befinden sich im +Raum FOE-020. Die Kalibrierung des QBS erfolgt durch Vergleich mit dem +Drehkolbenmanometer. Die Protokolle dieser Kalibrierungen befinden sich im +Ordner "`Interne Kalibrierungen"' im Raum FOE-020. Im übrigen gilt die PTB-VA~10 +"`Prüfmittelüberwachung"' und das Abteilungs-Handbuch. Es ist vorgesehen, das +FRS5 wegen der kritischen Aufhängevorrichtung seines Kolbens möglichst nicht +mehr zu transportieren und auf das Quecksilbermanometer der PTB zurückzuführen. +Der ermittelte effektive Querschnitt muss jedoch alle 5~Jahre durch Vergleich +mit dem DKM im Ãœberlappungsbereich von etwa \SI{3}{\kPa} bis \SI{10}{\kPa} +kontrolliert werden. Am Drehkolbenmanometer ist eine Temperaturmessung +erforderlich, welche eine Korrektur von \num{2E-5} pro Grad in den +Kalibrierdruck einbringt. Diese Temperatur wird mit einem kalibrierten Pt-100 +gemessen. Wegen der Kleinheit der Korrektur ist eine Nachkalibrierung nicht +erforderlich. Ebenfalls ist am Drehkolbenmanometer der Restdruck in der +Vakuumglocke zu messen, was mit einem Wärmeleitungsvakuummeter geschieht. Da +die Unsicherheit (\SI{10}{\percent}, $k=2$) der größten Korrektur $< \num{E-5}$ +vom Kalibrierdruck ist, ist eine Kalibrierung nicht erforderlich. + +Wenn der Spannungsausgang eines Prüflings als Messgröße ausgelesen wird, wird +ein kalibriertes Digitalmultimeter mit der Messmittelnummer 7.5-4020 verwendet. +Zu Details siehe die 7.5-AA-SE2. + +Alle zur Apparatur gehörenden Geräte und wichtigen Einzelteile werden in der +Gerätekartei QSG-SE2 erfasst, die vom zuständigen Mitarbeiter geführt wird und +sich im Arbeitsraum~20 befindet. Zu jedem Gerät wird ein Geräteblatt erstellt, +das folgende Angaben enthält: Gerätetyp, Hersteller, Seriennummer, +Inventarnummer, Anschaffungsdatum, durchgeführte Wartungen, Funktionsstörungen +und Schäden, Änderungen am Gerät, Reparaturen. Die Protokolle der Prüfungen +bzw.\ Rekalibrierungen von Messgeräten, die nicht direkt auf nationale Normale +zurückgeführt werden müssen, werden ebenso im Raum FOE-020 aufbewahrt. + +\section{Kalibrierverfahren} + +\subsection{Vorbereiten der Prüflinge} + +Es ist die Verfahrensanweisung PTB-QM-VA~17 anzuwenden. Im folgenden sind die +Details beschrieben, um VA 17 zu erfüllen. Bei jedem Antrag wird für den +Prüfling festgelegt: + +\begin{itemize} + + \item Gasart(en) + + \item Messbereich(e) + + \item Einstellparameter (bei Membranvakuummetern: Multiplikationsfaktor, + Maßeinheit) + + \item Kalibrierkonstante. Bei Kapazitätsvakuummetern: Anzeigefehler der + Druckanzeige am Display und/oder über Schnittstelle und/oder des auf Druck + umgerechneten Analogausgangs (Spannung). + +\end{itemize} + +\noindent Die administrativen Daten der Bearbeitung eines Kalibrierauftrags +werden in einer Excel"=Datei \path{Q:\Kal\XX\AktenzeichenXX.xls} (\path{XX} +letzte zwei Ziffern der Jahreszahl) auf einem allen Mitarbeitern der +Arbeitsgruppe zugänglichen Laufwerk (z.\,Z.\ \path{Q:}) des Novell-Servers +eingetragen. Der erste Eintrag erfolgt spätestens bei Annahme des Auftrags. Zu +den administrativen Daten zählen: + +\begin{itemize} + + \item Antragsdatum + + \item Antragsteller mit Adresse und Ansprechpartner + + \item Kalibriergegenstände + + \item Art des Antragstellers (DKD, NMI/DI, in alten Listen: Staatsinstitut, + Firma etc.) + + \item Geplantes Datum der Kalibrierung + + \item Bearbeiter der Kalibrierung + + \item SAP-Nr. in Melodi (zur Arbeitszeiterfassung) und Debitor-Nr. (SAP) + + \item Kalibrierzeichen + + \item Geräteingang (Datum) + + \item Kalibrierende (Datum) + + \item Gerätausgang (Datum) + + \item Geschäftszeichen + + \item Datum des Kalibrierscheins + + \item Datum und Betrag auf Kostenbescheid + +\end{itemize} + +Die Vorbereitung erfolgt nach folgenden Punkten: + +\begin{itemize} + + \item Prüfung auf eventuelle Schäden und Vollständigkeit bei Eintreffen des + Kalibriergegenstands. Falls in Ausnahmefällen erforderlich, Lagerung + desselben (siehe unten) + + \item Belüften der Umwegleitung (siehe Abbildung~\ref{Schema}) nach + Schließen der Ventile zu den Kalibrierkammern. + + \item Anflanschen der Prüflinge + + \item Evakuieren + + \item Inbetriebnahme und Funktionsprüfung der Prüflinge + + \item gegebenenfalls Lecksuche + + \item gegebenenfalls erneute Inbetriebnahme der Prüflinge + + \item Einlaufzeit der Prüflinge (Kapazitätsvakuummeter mindestens + \SI{12}{\hour}) + +\end{itemize} + +\begin{description} + +\item[Lagerung:] In der Regel werden die Termine so gesetzt, dass eine +Zwischenlagerung der Prüflinge nicht erforderlich ist und die Kalibrierungen +unverzüglich beginnen können, damit die Zeit, in der die Vakuummessgeräte der +Atmosphäre ausgesetzt sind, möglichst kurz ist. Ist in Ausnahmefällen eine +längere Zwischenlagerung nötig, werden alle Öffnungen der Prüflinge mit +Staubkappen versehen und in einem trockenen Schrank gelagert. + +\item[Gerätetyp:] Membranvakuummeter können als Differenzdruckmessgerät oder +als Absolutdruckmessgerät (bei dem die Referenzseite des Messkopfes bereits vom +Hersteller evakuiert ist) zur Kalibrierung vorliegen. Zur Kalibrierung eines +Differenzdruckmessgerätes muss zur Einstellung und Messung eines definierten +Drucks (in der Regel $< \SI{E-4}{\Pa}$) zusätzlich eine Evakuierungsmöglichkeit +für die Referenzseite des Messkopfes geschaffen werden. + +\end{description} + +\subsection{Qualitätsanforderungen} + +Die Anforderungen an die zu kalibrierenden Vakuummeter sind nicht verbindlich +in nationalen oder internationalen Regeln festgelegt. Folgende Bedingungen +müssen allgemein erfüllt sein: + +\begin{itemize} + +\item Das Gerät muss dem Stand der Technik entsprechen und den +Sicherheitsvorschriften genügen. + +\item Die Messunsicherheit und die Stabilität des Gerätes soll zur Unsicherheit +der Kalibrieranlage in einem solchen Verhältnis stehen, dass eine Kalibrierung +am Primärnormal der PTB gerechtfertigt ist, es sei denn, andere zwingende +Gründe liegen vor. + +\item Die Bauart des Gerätes muss gewährleisten, dass es zuverlässig arbeitet +und reproduzierbare Messergebnisse liefert. + +\item Die Bedienung des Gerätes muss für einen in der Vakuumtechnik erfahrenen +Anwender in angemessener Zeit beherrschbar sein. + +\item Eine Gefährdung des Anwenders durch die vorherige Nutzung des +Vakuummeters in kontaminierter oder toxischer Umgebung muss ausgeschlossen +sein. + +\item Das Gerät muss in einwandfreiem und funktionstüchtigem Zustand sein. + +\item Die Druckanzeige muss mindestens eine Dekade umfassen. + +\item Druckänderungen müssen unmittelbar, d.\,h.\ in einer die Unsicherheit der +Kalibriereinrichtung nicht beeinflussenden und für den Anwender akzeptablen +Zeit wiedergegeben werden. + +\item Vakuummeter, Messleitungen und Anzeige- und Steuergerät müssen so +beschaffen sein, dass versehentliche Änderungen der Betriebsparameter, die die +Anzeige beeinflussen, weitgehend ausgeschlossen sind. Betriebsparameter, die +vom Anwender verändert werden können, werden mit ihrem Wert während der +Kalibrierung auf dem Kalibrierschein vermerkt oder die entsprechenden +Einstellvorrichtungen werden versiegelt. + +\end{itemize} + + +Damit die wesentlichen Qualitätsmerkmale (Sicherheit für die PTB Mitarbeiter, +Sauberkeit für das Primärnormal, Funktionsbereitschaft zur schnellen +Durchführung der Kalibrierung) vom Auftraggeber eingehalten werden, wird dem +Auftraggeber eine entsprechende Erklärung (siehe Anhang) zur rechtsgültigen +Unterschrift zugesandt. Wenn der Auftraggeber nicht gut bekannt ist oder ein +Verdacht vorliegt, dass die Sicherheit der Mitarbeiter oder Sauberkeit des +Primärnormals durch das Kalibriergut gefährdet ist, darf vor dem Eintreffen der +Erklärung nicht mit der Installation begonnen werden. Zum Wortlaut der +Erklärung siehe 7.3-AA-SE2, Anhang. + + +\subsection{Durchführung und Auswertung der Kalibrierung} + +Die Kalibrierung läuft wie folgt ab: + +\begin{itemize} + +\item Kalibrierung + +\item Vorläufige Auswertung, Festlegung evtl.\ notwendiger Wiederholungsmessungen + +\item Abbau und Versand des Prüflings + +\item Endauswertung, Erstellen des Kalibrierscheines und --~sofern +erforderlich~-- des Kostenbescheids + +\end{itemize} + +\subsubsection{Durchführung bei Membranvakuummetern} + +Zu Beginn der Kalibrierung wird das Programm SE2 auf dem Messplatzrechner +gestartet. Die gerätespezifischen Parameter sowie Auftraggeber, +Kalibrierschein-Nr. und evtl.\ notwendige Kommentare werden eingegeben. +Beginnend mit dem niedrigsten Druck werden die Kalibrierdrücke eingestellt und +die Messergebnisse des Kalibriergegenstands in das Programm eingetragen. Jede +Kalibrierung erhält vom Programm eine neue Nummer, maximal 10~Geräte +(einschließlich Prüfnormale) können gleichzeitig kalibriert werden. + +Kapazitive Membranvakuummeter (CDG) sollen i.\,d.\,R.\ nicht über ihren +Vollausschlag druckbelastet werden. Dazu muss gegebenenfalls ein Isolierventil +vor dem Messkopf geschlossen werden. Zur Produktivitätssteigerung können +mehrere kapazitive CDGs verschiedenen Vollausschlags in einer Kalibriersequenz +kalibriert werden. + +Alle bei der Kalibrierung anfallenden Daten werden zunächst lokal in dem Ordner +\path{/home/NOVELL-NUTZER-NAME/se2/Daten/prueflinge}, unter \path{se2_xx} +(Daten der Prüflinge) und eventuell \path{werte_se2_xx} (Messwerte der +Prüflinge) abgelegt, wobei \path{xx} für die fortlaufende Nummer der +Kalibrierung steht. Ist der Novell"=Server verfügbar, werden beide Dateien +zusätzlich auf dem Laufwerk \path{Q:} unter +\path{\Messplaetze\SE2\Daten\Rohdaten\se2_xx} gespeichert. + +\subsubsection{Auswertung} + +Die Berechnung des Kalibrierdrucks und die erste Bestimmung der relativen +Abweichung der ZKG erfolgt mit dem Programm SE2 nach einem Algorithmus, der in +QSS-SE2 niedergelegt ist. + +Die ausgewerteten Rohdaten werden wie die Rohdaten selbst in dem Ordner +\path{/home/NOVELL-NUTZER-NAME/se2/Daten/prueflinge} unter \path{werte_se2_xx} +(Messwerte der Prüflinge) abgelegt, wobei \path{xx} für die fortlaufende Nummer +der Kalibrierung steht. Ist der Novell"=Server verfügbar, werden die Daten +zusätzlich auf dem Laufwerk \path{Q:} unter +\path{\Messplaetze\SE2\Daten\Rohdaten\se2_xx} gespeichert. + +Der zuständige Wissenschaftler prüft die Rohauswertung, entfernt +Doppelmessungen, berechnet eventuell mittels einer Anpassungskurve "`predicted +values"', berechnet gegebenenfalls die Kalibriergröße gemäß QSS-SE2 und +bereitet die Daten so in einem Excel"=File auf, dass sie direkt in einen +Kalibrierschein übernommen werden können. + + +\subsection{Messunsicherheit der Kalibrierwerte} + +Ãœber die angegebene Unsicherheit des dargestellten Drucks hinaus, sind bei +Kapazitätsvakuummetern folgende gerätespezifischen Unsicherheiten zu +berücksichtigen: + +\begin{itemize} + \item Digitalisierung der Anzeige + \item Kurzzeitige (Sekundenbereich) und systematische (Drift im + Minutenbereich) Änderungen des Nullpunkts bzw.\ Offsets. + \item Wiederholpräzision der Anzeige (repeatibility) + \item Temperaturabhängigkeit der Anzeige +\end{itemize} + +Da nur in aufsteigender Druckreihenfolge gemessen wird, gibt es keine +Hysterese"=Effekte. In Ausnahmefällen muss bei Wiederholungsmessungen einzelner +Druckpunkte von der aufsteigenden Reihenfolge abgewichen werden. Störungen +durch Hysterese"=Effekte sind bei den bisher kalibrierten Geräten nicht bekannt +geworden. Für diese Geräte ergeben sich folgende Budgets: + +\begin{table}[!ht] + \caption{»Best Measurement Capabilities«, kalibriert mit DKM, FRS5 oder QBS + für Kapazitätsvakuummeter Typ MKS Baratrons mit verschiedenen Vollauschlägen + \SI{100}{\torr} und \SI{1000}{\torr}. Angegeben sind die relativen + Gesamtunsicherheiten mal 2 ($k=2$). Zu Details siehe Anhang.} + \relscale{.75}% Schrift skalieren, damit Tabelle passt + \sisetup{% für Spaltentyp "S" + table-format=1.1e-1 + } + \begin{tabular}{@{}rSSSSSS@{}} \toprule + {Druck} & + {\SI{100}{\torr}-CDG /} & {\SI{100}{\torr}-CDG /} & {\SI{100}{\torr}-CDG /} & + {\SI{1000}{\torr}-CDG /} & {\SI{1000}{\torr}-CDG /} & {\SI{1000}{\torr}-CDG /} + \\ + {in \si{\kPa}} & {DKM} & {FRS} & {QBS} & {DKM} & + {FRS} & {QBS} \\ \toprule + + 0,03 & & 1,5E-03 & & & & \\ + 0,1 & & 5,9E-04 & & & & \\ + 1 & & 4,1E-04 & 2,1E-03 & & 6,0E-04 & 2,1E-03 \\ + 3 & 4,3E-04 & 4,0E-04 & 8,2E-04 & 4,3E-04 & 4,1E-04 & 8,2E-04 \\ + 10 & 4,2E-04 & 4,0E-04 & 5,1E-04 & 4,2E-04 & 4,0E-04 & 5,1E-04 \\ + 30 & & & & 4,2E-04 & 4,0E-04 & 4,3E-04 \\ + 100 & & & & 4,2E-04 & & 4,2E-04 \\ + \bottomrule + + \end{tabular} +\end{table} + +Es sei jedoch darauf hingewiesen, dass vorläufig aufgrund der Vereinbarung mit +der zuständigen AG für Druck im Kalibrierschein keine Unsicherheit +$<\SI{0,05}{\percent}$ ($k=2$) angegeben werden soll. Dieser Punkt wird jedoch im +Zusammenhang mit neuen CMC"=Einträgen erneut mit der AG für Druck besprochen +werden. + +\subsection{Kalibrierschein} + +Der Kalibrierschein wird gemäß der jeweils gültigen Vorlage, die auf den +Rechnernetzen der PTB (z.\,B.\ Intranet, Abteilung~Z, Dokumentvorlagen) zur +Verfügung steht, erstellt. Er enthält über die allgemein verbindlichen Angaben +hinaus folgende spezifische Angaben: + +\begin{itemize} + +\item Betriebsbedingungen des Geräts bei der Kalibrierung (Membranvakuummeter: +Lage des Messkopfes zur Erdoberfläche bei der Kalibrierung, Schalterstellungen +für Response und Multiplikationsfaktor, Temperaturkompensation, Average etc.) + +\item Raumtemperatur + +\item Messergebnisse + +\end{itemize} + +\noindent Kopien des Kalibrierscheines werden + +\begin{itemize} + +\item beim Bearbeiter + +\item fortlaufend in der zentralen Ablage im Raum~20 aufbewahrt. + +\end{itemize} + +\noindent Beispiele von Kalibrierscheinen befinden sich im Anhang. + +\section{Validierung} + +Da der direkte Vergleich von Vakuummessgeräten in diesem Druckbereich keine +Probleme bezüglich Druckhomogenität macht (viskose Strömung), genügt für eine +Validierung der Nachweis der Rückführung der Sekundärnormale auf Primärnormale. + +\section{Ergebnisse von Vergleichen} + +DKM und QBS gelten nicht als Primärnormale der PTB und dürfen daher nicht als +solche an Key comparisons teilnehmen. Beim Key comparison CCM.P-K4 (1998) von +\SI{1}{\Pa} bis \SI{1000}{\Pa} wurde jedoch der optionelle Bereich +\SI{1000}{\Pa} bis \SI{10000}{\Pa} dazu genutzt, das Drehkolbenmanometer in den +Vergleich einzubeziehen (siehe 7.3-AA-SE2). Bis \SI{10000}{\Pa} war die +Ãœbereinstimmung mit dem Referenzwert y hervorragend (siehe Ordner CCM.P.K4 in +FOE~226, $E_\text{n} < \num{0.5}$). Im final report sind diese Ergebnisse nicht +dargestellt. + +Die Druckwaage FRS5 soll dagegen von \SI{30}{\Pa} bis \SI{1000}{\Pa} als +Primärnormal anerkannt werden und in diesem Bereich das Primärnormal SE2 +ersetzen. Für das FRS5 wurde zum Nachweis der richtigen Messung vor Ort und als +zusätzlicher Nachweis der Druckunabhängigkeit des effektiven Querschnitts ein +Vergleich mit dem tschechischen Staatsinstitut CMI vorgenommen (Mai/Juni 2006, +siehe~\cite{Jousten2007}). Die Ergebnisse der FRS5 und des FPG des CMI waren im +Rahmen der Unsicherheiten äquivalent ($E_\text{n} < \num{0.5}$). + +\section{Mitgeltende Unterlagen} + +\begin{center} +\captionof{table}{Mitgeltende Unterlagen, die diese AA betreffen.} + +\begin{tabularx}{\linewidth}{@{}lXc>{\Centering}m{9em}@{}} \toprule + \multicolumn{1}{c}{\textbf{Kurzbez.}} & + \multicolumn{1}{c}{\textbf{Inhalt}} & \textbf{Ausgabe} & \textbf{Ort} \\ + \multicolumn{1}{c}{\textbf{QM-7.23-}} &&& \\ \toprule + + QSV-SE2-97 & Bedienungsanleitung für SE2 & Juni 1997 & + FOE-226 Hängeregister, FOE-021 \\[1em] + + QSG-SE2 & Betriebsanleitungen zu SE2 & fortlaufend & FOE-020 und FOE-021 + \\[1em] + + QSGN & Interne Kalibrierscheine & fortlaufend & FOE-020 \\[1em] + + QSE-FRS-06-1 & + Darstellung der Druckskala im Bereich \SI{30}{\Pa} bis \SI{10}{\kPa} & + Oktober 2006 & FOE-020 (QSE-Ordner) \\ + + \bottomrule +\end{tabularx} +\end{center} + +\begin{thebibliography}{9} + + \bibitem{Jitschin1990} + W. Jitschin, J.\,K. Migwi and G.\,Grosse: Pressures in the high and medium + vacuum range by a series expansion standard. Vacuum \textbf{40} (1990), + 293--304. + + \bibitem{Jousten2007} + Karl Jousten, Thomas Bock, Dominik Pražák, ZdenÄ›k KrajÃÄek: Final report on + the supplementary comparison Euromet.M.P-S2 (bilateral comparison) in the + pressure range from 30\,Pa to 7000\,Pa, Metrologia \textbf{44} (2007), 07007. + +\end{thebibliography} + +\clearpage + +\begin{landscape} + + \section{Anhang: Messunsicherheitsbudgets für verschiedene Geräte und + Beispielkalibrierschein} + + \small + + \newcolumntype{P}[1]{>{\RaggedRight}p{#1}}% + \newcolumntype{Y}{>{\RaggedRight}X}% + + \sisetup{% für Spaltentyp "S" + table-format=1.2e-1, + % max. Breite für die S-Spalten + table-column-width=\dimexpr (\linewidth-20\tabcolsep)/11, + %tight-spacing=true, + %scientific-notation=engineering + } + \noindent + \begin{tabular}{@{}SSSSSSSSSSS@{}} + + \multicolumn{11}{@{}l@{}}{% + {\usekomafont{disposition}CDG 10-Torr MKS Baratron 5\,1/2 Stellen + mit FRS}} \\[1em] \toprule + + % Kopf-Einträge jeweils in geschweiften Klammern wegen Zahlenformatierung ("S"). + {$p$/Pa} & {$p$/mbar} & {PTB/FRS} & {PTB/FRS} & {Digitalis.} & + {Repeat.} & {Repeat.} & {Nullpunkt} & {Gesamt} & {Gesamt} & {$k=2$} + \\ + & & {rel.} & {mbar} & {mbar} & + {rel.} & {mbar} & {mbar} & {mbar} & {rel.} & + \\ \toprule + + 3,00E+01 & 3,0E-01 & 7,17E-04 & 2,15E-02 & 2,90E-05 & + 2,00E-04 & 6,00E-03 & 2,90E-05 & 2,2E-02 & 7,4E-04 & 1,49E-03 \\ + + 1,00E+02 & 1,0E+00 & 2,17E-04 & 2,17E-02 & 2,90E-05 & + 2,00E-04 & 2,00E-02 & 2,90E-05 & 2,9E-02 & 2,9E-04 & 5,90E-04 \\ + + 1,00E+03 & 1,0E+01 & 3,21E-05 & 3,21E-02 & 2,90E-04 & + 2,00E-04 & 2,00E-01 & 2,90E-04 & 2,0E-01 & 2,0E-04 & 4,05E-04 + + \\ \bottomrule + + \end{tabular} + + \normalsize + + \subsection*{Erläuterungen:} + \TabPositions{.251\linewidth} + + \begin{minipage}[b]{.25\linewidth} + $p$/Pa \tab + \end{minipage}\tab% + \begin{minipage}[b]{.749\linewidth} + Eingestellter Druck in Pa + \end{minipage}\tab + % + \begin{minipage}[b]{.25\linewidth} + $p$/mbar + \end{minipage}\tab% + \begin{minipage}[b]{.749\linewidth} + Eingestellter Druck in mbar + \end{minipage}\tab + % + \vspace{-.3\baselineskip} + \minisec{Unsicherheit durch Primärnormal FRS5}\smallskip + + \begin{minipage}[b]{.25\linewidth} + PTB/FRS rel. + \end{minipage}\tab% + \begin{minipage}[b]{.749\linewidth} + Relative Unsicherheit des eingestellten Drucks + \end{minipage}\tab + % + \begin{minipage}[b]{.25\linewidth} + PTB/FRS mbar + \end{minipage}\tab% + \begin{minipage}[b]{.749\linewidth} + Unsicherheit des eingestellten Drucks in mbar + \end{minipage}\tab + + \vspace{-.3\baselineskip} + \minisec{Unsicherheit durch Gerät}\smallskip + + \begin{minipage}[b]{.25\linewidth} + Digitalis. + \end{minipage}\tab% + \begin{minipage}[b]{.749\linewidth} + Unsicherheit durch Digitalisierung: \SI{0.29}{} mal + letzte Digit"=Stelle + \end{minipage}\tab + % + \begin{minipage}[b]{.25\linewidth} + Repeat. rel. + \end{minipage}\tab% + \begin{minipage}[b]{.749\linewidth} + Relative Wiederholpräzision ermittelt durch die mittlere Standardabweichung + der Kalibrierwerte von einer Ausgleichskurve + \end{minipage}\tab + % + \begin{minipage}[b]{.25\linewidth} + Nullpunkt mbar + \end{minipage}\tab% + \begin{minipage}[b]{.749\linewidth} + Unsicherheit durch Nullpunktschwankungen, Nullpunktdrift, + einschl. durch Temp."=Änderungen + \end{minipage}\tab + % + \begin{minipage}[b]{.25\linewidth} + Gesamt mbar + \end{minipage}\tab% + \begin{minipage}[b]{.749\linewidth} + Gesamtunsicherheit in mbar (Wurzel aus obigen Varianzen) + \end{minipage}\tab + % + \begin{minipage}[b]{.25\linewidth} + Gesamt rel. + \end{minipage}\tab% + \begin{minipage}[b]{.749\linewidth} + relative Gesamtunsicherheit + \end{minipage}\tab + % + \begin{minipage}[b]{.25\linewidth} + $k=2$ + \end{minipage}\tab% + \begin{minipage}[b]{.749\linewidth} + relative Gesamtunsicherheit mal 2 ($k=2$) + \end{minipage}\tab + + +\end{landscape} + +\begin{landscape} + + \section{Anhang: Messunsicherheitsbudgets für verschiedene Geräte und + Beispielkalibrierschein} + + \small + + \newcolumntype{P}[1]{>{\RaggedRight}p{#1}}% + \newcolumntype{Y}{>{\RaggedRight}X}% + + \sisetup{% für Spaltentyp "S" + table-format=1.2e-1, + % max. Breite für die S-Spalten + table-column-width=\dimexpr (\linewidth-20\tabcolsep)/11, + %tight-spacing=true, + %scientific-notation=engineering + } + \enlargethispage{100cm} + \noindent + \begin{tabular}{@{}SSSSSSSSSSS@{}} + + \multicolumn{11}{@{}l@{}}{% + {\usekomafont{disposition}CDG 10-Torr MKS Baratron 5\,1/2 Stellen + mit FRS}} \\[1em] \toprule + + % Kopf-Einträge jeweils in geschweiften Klammern wegen Zahlenformatierung ("S"). + {$p$/Pa} & {$p$/mbar} & {PTB/FRS} & {PTB/FRS} & {Digitalis.} & + {Repeat.} & {Repeat.} & {Nullpunkt} & {Gesamt} & {Gesamt} & {$k=2$} + \\ + & & {rel.} & {mbar} & {mbar} & + {rel.} & {mbar} & {mbar} & {mbar} & {rel.} & + \\ \toprule + + 3,00E+01 & 3,0E-01 & 7,17E-04 & 2,15E-02 & 2,90E-05 & + 2,00E-04 & 6,00E-03 & 2,90E-05 & 2,2E-02 & 7,4E-04 & 1,49E-03 \\ + + 1,00E+02 & 1,0E+00 & 2,17E-04 & 2,17E-02 & 2,90E-05 & + 2,00E-04 & 2,00E-02 & 2,90E-05 & 2,9E-02 & 2,9E-04 & 5,90E-04 \\ + + 1,00E+03 & 1,0E+01 & 3,21E-05 & 3,21E-02 & 2,90E-04 & + 2,00E-04 & 2,00E-01 & 2,90E-04 & 2,0E-01 & 2,0E-04 & 4,05E-04 + + \\ \bottomrule + + \end{tabular} + \minisec{\usekomafont{disposition}Erläuterungen:}\medskip{} + %\subsection*{Erläuterungen:} + \noindent + \begin{tabularx}{\linewidth}{@{}P{.275\linewidth}Y@{}} + $p$/Pa & Eingestellter Druck in Pa \\ + $p$/mbar & Eingestellter Druck in mbar \\[-2ex] + + \multicolumn{2}{@{}p{\linewidth}@{}} + {\minisec{Unsicherheit durch Primärnormal FRS5}} \\[-2ex] + + PTB/FRS rel. & Relative Unsicherheit des eingestellten Drucks \\ + PTB/FRS mbar & Unsicherheit des eingestellten Drucks in mbar \\[-2ex] + + \multicolumn{2}{@{}p{\linewidth}@{}} + {\minisec{Unsicherheit durch Gerät}} \\[-2ex] + + Digitalis. & Unsicherheit durch Digitalisierung: \SI{0.29}{} mal letzte + Digit"=Stelle \\ + Repeat. rel. & Relative Wiederholpräzision ermittelt durch die mittlere + Standardabweichung der Kalibrierwerte von einer Ausgleichskurve \\ + Repeat. mbar & dito. in mbar \\ + Nullpunkt mbar & Unsicherheit durch Nullpunktschwankungen, Nullpunktdrift, + einschl. durch Temp."=Änderungen \\ + Gesamt mbar & Gesamtunsicherheit in mbar (Wurzel aus obigen Varianzen) \\ + Gesamt rel. & relative Gesamtunsicherheit \\ + $k=2$ & relative Gesamtunsicherheit mal 2 ($k=2$) \\[-2ex] + + \multicolumn{2}{@{}p{\linewidth}@{}} + {\minisec{Zusätzliche Unsicherheiten, die keine Rolle bei + "`Best Meas. Capabilties"' spielen, aber bei der weiteren Verwendung + als Messgerät}} \\[-2ex] + + Unsicherheit der thermischen Transpiration bei $u(T)=\SI{0.3}{K}$ + & druckabhängig, z.\,B.\ \SI{0.05}{\percent} bei \SI{0.1}{Pa} \\ + Temperatureinfluss (\SI{0.3}{K}) auf Messkopf (Nullpunktdrift) + & \SI{4.00E-06}{mbar} \\ + Temperatureinfluss (\SI{1}{K}) auf Messverstärker + & \SI{2.00E-05}{} relativ \\ + Langzeitstabilität & \SI{1.00E-03}{} relativ \\ + + \end{tabularx} + +\end{landscape} + +\clearpage + +% Alle Seiten des Kalibrierscheines +\includepdf[pages=-,frame,scale=.75,% + pagecommand={\thispagestyle{headings}}]{ks-75024_2014.pdf} + +\end{document} +%--------------------------- diff --git a/arbeitsanweisung/test-arbeitsanweisung.tex b/arbeitsanweisung/test-arbeitsanweisung.tex deleted file mode 100644 index 9ba33526017b4a296bc01091b30a0bff4dd5b281..0000000000000000000000000000000000000000 --- a/arbeitsanweisung/test-arbeitsanweisung.tex +++ /dev/null @@ -1,232 +0,0 @@ - -%--------------------------- -\listfiles -\documentclass[ngerman]{vl-arbeitsanweisung} - -\Devision{7} -\Department{7.3} -\WorkingGroup{Vakuummetrologie} -\Object{DIR} -\Edition{03} - -\date{2007-05} - -\title{Kalibrierung von Vakuummetern im Bereich von \\ 30\,Pa bis - 10\textsuperscript{5}\,Pa durch direkten Vergleich mit einem Normal} - -\usepackage{hyperref} - -\begin{document} - -\maketitle -\tableofcontents - -\clearpage - -\section{Zweck und Geltungsbereich} - -\section{Begriffe und Abkürzungen} - -\section{Räumlichkeiten und Umgebungsbedingungen} - -\section{Gerätetechnische Gegebenheiten} - -\subsection{Kalibriermethode} -\subsection{Qualitätsanforderungen} - -\clearpage -\subsection{Kalibriereinrichtung} - -\begin{figure}[!ht] - \includegraphics[width=\textwidth]{Kalibriereinrichtung.pdf} - \caption{Schemazeichnung der Kaliberiereinrichtung für den direkten Vergleich - (ZKG = zu kalibrierendes Gerät). Das Primärnormal SE2 wird als - Expansionssystem nicht genutzt, lediglich dessen Druckmessgeräte (am - Gaseinlass) und die Tischplatte zur Montage des ZKG. Als Gaseinlass können - QBS, DKM und FRS5 dienen.} -\end{figure} - -\FloatBarrier % Verhindern, dass Abb./Tab. in nächsten Abschnitt gleitet. - -\subsection{Normale und Messmittel} - -\section{Kalibrierverfahren} - -\subsection{Vorbereiten der Prüflinge} -\clearpage -\subsection{Qualitätsanforderungen} -\clearpage -\subsection{Durchführung und Auswertung der Kalibrierung} -\clearpage -\subsection{Messunsicherheit der Kalibrierwerte} - -Ãœber die angegebene Unsicherheit des dargestellten Drucks hinaus, sind bei -Kapazitätsvakuummetern folgende gerätespezifischen Unsicherheiten zu -berücksichtigen: - -\begin{itemize} - \item Digitalisierung der Anzeige - \item Kurzzeitige (Sekundenbereich) und systematische (Drift im - Minutenbereich) Änderungen des Nullpunkts bzw.\ Offsets. - \item Wiederholpräzision der Anzeige (repeatibility) - \item Temperaturabhängigkeit der Anzeige -\end{itemize} - -Da nur in aufsteigender Druckreihenfolge gemessen wird, gibt es keine -Hysterese-Effekte. In Ausnahmefällen muss bei Wiederholungsmessungen einzelner -Druckpunkte von der aufsteigenden Reihenfolge abgewichen werden. Störungen -durch Hysterese-Effekte sind bei den bisher kalibrierten Geräten nicht bekannt -geworden. Für diese Geräte ergeben sich folgende Budgets: - -\begin{table}[!ht] - \caption{»Best Measurement Capabilities«, kalibriert mit DKM, FRS5 oder QBS - für Kapazitätsvakuummeter Typ MKS Baratrons mit verschiedenen Vollauschlägen - \SI{100}{\torr} und \SI{1000}{\torr}. Angegeben sind die relativen - Gesamtunsicherheiten mal 2 ($k=2$). Zu Details siehe Anhang.} - \relscale{.75}% Schrift skalieren, damit Tabelle passt - \sisetup{% für Spaltentyp "S" - table-format=1.1e-1 - } - \begin{tabular}{@{}rSSSSSS@{}} \toprule - {Druck} & - {\SI{100}{\torr}-CDG /} & {\SI{100}{\torr}-CDG /} & {\SI{100}{\torr}-CDG /} & - {\SI{1000}{\torr}-CDG /} & {\SI{1000}{\torr}-CDG /} & {\SI{1000}{\torr}-CDG /} - \\ - {in \si{\kilo\pascal}} & {DKM} & {FRS} & {QBS} & {DKM} & - {FRS} & {QBS} \\ \toprule - - 0,003 & & 1,5E-03 & & & & \\ - 0,1 & & 5,9E-04 & & & & \\ - 1 & & 4,1E-04 & 2,1E-03 & & 6,0E-04 & 2,1E-03 \\ - 3 & 4,3E-04 & 4,0E-04 & 8,2E-04 & 4,3E-04 & 4,1E-04 & 8,2E-04 \\ - 10 & 4,2E-04 & 4,0E-04 & 5,1E-04 & 4,2E-04 & 4,0E-04 & 5,1E-04 \\ - 30 & & & & 4,2E-04 & 4,0E-04 & 4,3E-04 \\ - 100 & & & & 4,2E-04 & & 4,2E-04 \\ - \bottomrule - - \end{tabular} -\end{table} - -Es sei jedoch darauf hingewiesen, dass vorläufig aufgrund der Vereinbarung mit -der zuständigen AG für Druck im Kalibrierschein keine Unsicherheit -$<\SI{0,05}{\percent}$ ($k=2$) angegeben werden soll. Dieser Punkt wird jedoch im -Zusammenhang mit neuen CMC-Einträgen erneut mit der AG für Druck besprochen -werden. - -\subsection{Kalibrierschein} -\clearpage - -\section{Validierung} - -\section{Ergebnisse von Vergleichen} - -\section{Aufzeichnungs- und Ablagesystem (Aktenordnung)} - -\begin{thebibliography}{9} - - \bibitem{Jitschin1990} - W. Jitschin, J.\,K. Migwi and G.\,Grosse: Pressures in the high and medium - vacuum range by a series expansion standard. Vacuum \textbf{40} (1990), - 293--304. - - \bibitem{Jousten1990} - Karl Jousten, Thomas Bock, Dominik Pražák, ZdenÄ›k KrajÃÄek: Final report on - the supplementary comparison Euromet.M.P-S2 (bilateral comparison) in the - pressure range from 30\,Pa to 7000\,Pa, Metrologia \textbf{44} (2007), 07007. - -\end{thebibliography} - -\section{Anhang: Messunsicherheitsbudgets für verschiedene Geräte und - Beispielkalibrierschein} - -\begin{landscape} \small - - \newcolumntype{P}[1]{>{\RaggedRight}p{#1}}% - \newcolumntype{Y}{>{\RaggedRight}X}% - - \sisetup{% für Spaltentyp "S" - table-format=1.2e-1, - % max. Breite für die S-Spalten - table-column-width=\dimexpr (\linewidth-20\tabcolsep)/11, - %tight-spacing=true, - %scientific-notation=engineering - } - - \noindent - \begin{tabular}{@{}SSSSSSSSSSS@{}} - - \multicolumn{11}{@{}l@{}}{% - {\usekomafont{disposition}CDG 10-Torr MKS Baratron 5\,1/2 Stellen - mit FRS}} \\[1em] \toprule - - % Kopf-Einträge jeweils in geschweiften Klammern wegen Zahlenformatierung ("S"). - {$p$/Pa} & {$p$/mbar} & {PTB/FRS} & {PTB/FRS} & {Digitalis.} & - {Repeat.} & {Repeat.} & {Nullpunkt} & {Gesamt} & {Gesamt} & {$k=2$} - \\ - & & {rel.} & {mbar} & {mbar} & - {rel.} & {mbar} & {mbar} & {mbar} & {rel.} & - \\ \toprule - - 3,00E+01 & 3,0E-01 & 7,17E-04 & 2,15E-02 & 2,90E-05 & - 2,00E-04 & 6,00E-03 & 2,90E-05 & 2,2E-02 & 7,4E-04 & 1,49E-03 \\ - - 1,00E+02 & 1,0E+00 & 2,17E-04 & 2,17E-02 & 2,90E-05 & - 2,00E-04 & 2,00E-02 & 2,90E-05 & 2,9E-02 & 2,9E-04 & 5,90E-04 \\ - - 1,00E+03 & 1,0E+01 & 3,21E-05 & 3,21E-02 & 2,90E-04 & - 2,00E-04 & 2,00E-01 & 2,90E-04 & 2,0E-01 & 2,0E-04 & 4,05E-04 - - \\ \bottomrule - - \end{tabular} - \minisec{\usekomafont{disposition}Erläuterungen:} \par\medskip - \noindent - \begin{tabularx}{\linewidth}{@{}P{.275\linewidth}Y@{}} - $p$/Pa & Eingestellter Druck in Pa \\ - $p$/mbar & Eingestellter Druck in mbar \\[-2ex] - - \multicolumn{2}{@{}p{\linewidth}@{}} - {\minisec{Unsicherheit durch Primärnormal FRS5}} \\[-2ex] - - PTB/FRS rel. & Relative Unsicherheit des eingestellten Drucks \\ - PTB/FRS mbar & Unsicherheit des eingestellten Drucks in mbar \\[-2ex] - - \multicolumn{2}{@{}p{\linewidth}@{}} - {\minisec{Unsicherheit durch Gerät}} \\[-2ex] - - Digitalis. & Unsicherheit durch Digitalisierung: \SI{0.29}{} mal letzte - Digit-Stelle \\ - Repeat. rel. & Relative Wiederholpräzision ermittelt durch die mittlere - Standardabweichung der Kalibrierwerte von einer Ausgleichskurve \\ - Repeat. mbar & dito. in mbar \\ - Nullpunkt mbar & Unsicherheit durch Nullpunktschwankungen, Nullpunktdrift, - einschl. durch Temp.-Änderungen \\ - Gesamt mbar & Gesamtunsicherheit in mbar (Wurzel aus obigen Varianzen) \\ - Gesamt rel. & relative Gesamtunsicherheit \\ - $k=2$ & relative Gesamtunsicherheit mal 2 ($k=2$) \\[-2ex] - - \multicolumn{2}{@{}p{\linewidth}@{}} - {\minisec{Zusätzliche Unsicherheiten, die keine Rolle bei - "`Best Meas. Capabilties"' spielen, aber bei der weiteren Verwendung - als Messgerät}} \\[-2ex] - - Unsicherheit der thermischen Transpiration bei $u(T)=\SI{0.3}{K}$ - & druckabhängig, z.\,B.\ \SI{0.05}{\percent} bei \SI{0.1}{Pa} \\ - Temperatureinfluss (\SI{0.3}{K}) auf Messkopf (Nullpunktdrift) - & \SI{4.00E-06}{mbar} \\ - Temperatureinfluss (\SI{1}{K}) auf Messverstärker - & \SI{2.00E-05}{} relativ \\ - Langzeitstabilität & \SI{1.00E-03}{} relativ \\ - - \end{tabularx} - -\end{landscape} - -\clearpage - -% Alle Seiten des Kalibrierscheines -\includepdf[pages=-,frame,scale=.75,% - pagecommand={\thispagestyle{headings}}]{ks-75024_2014.pdf} - -\end{document} -%--------------------------- diff --git a/arbeitsanweisung/vl-arbeitsanweisung.cls b/arbeitsanweisung/vl-arbeitsanweisung.cls index 29a2f980dfbb11f87c255fe646566d7307bbb30b..2c6ef7ab530f49cc14e61ccf6b3471e52d0e0efc 100644 --- a/arbeitsanweisung/vl-arbeitsanweisung.cls +++ b/arbeitsanweisung/vl-arbeitsanweisung.cls @@ -2,7 +2,7 @@ \setcounter{errorcontextlines}{100} \NeedsTeXFormat{LaTeX2e}[1999/12/01] \ProvidesClass{vl-arbeitsanweisung} - [2014/08/07 v0.1c Dokumentenklasse (RN/PTB)] + [2014/08/08 v0.1d Dokumentenklasse (RN/PTB)] \DeclareOption*{\PassOptionsToClass{\CurrentOption}{scrartcl}} \ProcessOptions\relax \PassOptionsToPackage{paper=a4,pagesize,twoside,headinclude}{typearea} @@ -16,12 +16,12 @@ ]{scrartcl} \RequirePackage{babel} +\RequirePackage{amsmath,threeparttable,tabto} \RequirePackage{pdflscape,picture,trimspaces,url,varwidth,placeins} \RequirePackage{zref-totpages,graphicx,booktabs,array,tabularx,pdfpages} \RequirePackage{longtable,siunitx,ragged2e,ifxetex,ifluatex,relsize} \RequirePackage[manualmark]{scrpage2} - \let\ptb@tempdima=\@clnwd \let\ptb@tempdimb=\@clnht \let\ptb@tempdimc=\@dashdim @@ -66,10 +66,7 @@ \fi \RequirePackage[ -% factor=1500 -% ,verbose=true ,final=true -% ,letterspace=100 ,babel=true ]{microtype} @@ -87,7 +84,7 @@ \begingroup \normalfont\sffamily\tiny\extrarowheight=.3\baselineskip \arrayrulewidth=\ptb@rulewidth \extratabsurround=0pt % - \renewcommand\tabularxcolumn[1]{m{##1}}% + \renewcommand*\tabularxcolumn[1]{m{##1}}% \begin{tabularx}{\textwidth}[t]{@{}|C|C|C|C|C|@{}} \firsthline Erstellt: \\ Abteilung~\ptb@Devision, Fachbereich~\ptb@Department @@ -209,6 +206,9 @@ footskip=15mm, \settocfeature{pagenumberbox}{\makebox[1.5em][r]} \settocfeature{entryhook}{\overfullrule=\z@} +\BeforeStartingTOC[toc]{\microtypesetup{protrusion=false}} +\AfterStartingTOC[toc]{\microtypesetup{protrusion=true}} + \addtokomafont{caption}{\small} \addtokomafont{captionlabel}{\bfseries\sffamily} \setcapindent{1em} @@ -253,6 +253,7 @@ footskip=15mm, \plitemsep=\medskipamount \DeclareSIUnit\torr{Torr} +\DeclareSIUnit\mbar{\milli bar} \sisetup{% Formatierung von Maßzahlen (z.B. Spaltentyp "S" in Tabellen) ,retain-zero-exponent=true @@ -266,7 +267,11 @@ footskip=15mm, \addto\extrasngerman{\sisetup{locale=DE}} \addto\extrasenglish{\sisetup{locale=US}} -\raggedbottom +\renewcommand*\tabularxcolumn[1]{m{#1}}% vert. zentriert + +\raggedbottom{} + +\RequirePackage[final]{hyperref} \endinput %%